半導体産業新聞はこのほど、最先端のＩＴ機器・産業を支える半導体製品を表彰する「第19回　半導体・オブ・ザ・イヤー２０１３」を開催し、３部門でグランプリ１点、優秀賞２点の計９製品・技術を選定ました。

第19回を迎えた半導体・オブ・ザ・イヤーは、3部門それぞれに自由応募と本紙記者による対象製品・技術をノミネート。ノミネート総数は、半導体デバイス部門１０４点、半導体製造装置部門40点、半導体用電子材料部門32点となりました。

それらを、開発の斬新性や社会に与えたインパクト、市場でのシェア・評価、将来性などを基準に選考。厳正なる記者投票により受賞製品・技術を選定いたしました。

半導体デバイス部門グランプリは、浜松ホトニクス㈱の「ＭＥＭＳ技術で指先サイズにまとめた超小型ＦＴＩＲエンジン」が受賞。世界で初めてＭＥＭＳ技術で光干渉計と赤外線検出素子の光学機構を１チップ化した開発力、今後も市場拡大が確実視されているＭＥＭＳセンサー市場で発揮された独自の商品企画力に加え、こうした製品の量産拠点として新工場の建設に踏み切っている積極的な事業姿勢が記者からの支持を集めました。

半導体製造装置部門グランプリは、レーザーテック㈱の「ＥＵＶマスク裏面検査／クリーニング装置『ＢＡＳＩＣシリーズ』」が受賞。マスク欠陥検査装置メーカーとして長年培ってきた技術をベースに、ＥＵＶ露光の難題とされるマスク検査用に実現した高い機能性が評価されました。

半導体用電子材料部門グランプリは、㈱イーディーピーの「１インチ　ダイヤモンド基板」が受賞。究極の半導体材料実用化へ第一歩を踏み出した先進性、および本格的な事業化へ自社工場を設置するというフロンティア精神が記者の共感を呼びました。