電子デバイス産業新聞(旧半導体産業新聞)
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イチネンジコー


高性能ヒーター 高速昇温に強み

2017/4/28

 (株)イチネンジコー(東京都港区芝浦4-2-8、Tel.03-6311-6236=ヒーター課)は、合成樹脂・機械、ガス検知器、セラミックヒーター、環境など様々な事業を展開。そのうちセラミックヒーター事業において、フリップチップボンダーなどに搭載される高性能ヒーターを製造・販売しており、豊富な実績を誇る。

イチネンジコーのセラミックヒーター
イチネンジコーのセラミックヒーター
 同社のセラミックヒーターは、熱伝導性の高い窒化アルミニウムをベースに、厚膜技術により形成した発熱体回路とセラミック加工技術を融合することで、優れた高速昇温機能を有する。数秒で450℃までの昇温が可能で、かつ業界トップの温度分布も実現。加えて、圧縮空気をヒーター内部にダイレクトパージさせる方法を採用することで優れた高速冷却性能も実現しており、スループット向上に大きく寄与する。

 現在、フリップチップボンダー向けを中心に、ACF(異方性導電フィルム)の接合、熱可塑性および熱硬化性樹脂の熱圧着接合、封止、接着など幅広い分野で使用されており、パワーデバイス関連分野などへの応用も可能とみている。

 電子デバイスの微細化に伴い、ヒーターから発せられる輻射熱による周辺部品への影響が関連メーカーで課題となっているが、同社のセラミックヒーターを用いることで、その影響を低減できる点も高い評価を得ている。

 製造面では、セラミックの板材から加工を行う手法を採用。材料型などを必要としないことから、コストパフォーマンスが高く、カスタマイズにも柔軟に対応できることも強みで、JPCA Showでは、これらの技術を総合的に紹介・展示する。

(本紙2017年4月20日号5面 掲載)

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